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真空管式炉检查和调试的方法与注意事项

编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2019-08-29

        真空管式炉入手后先对外观质量进行检查,确保外表面应光洁平整,无严重压坑和机械碰伤。安装完毕后,要确保良好的接地,真空炉安装即可按下列项目进行调试与验收。

        主要外购的配套件说明书,合格证的检查:如真空机组、磁性调压器、电子电位差计、控温微处理机、真空继电器等。

        真空管式炉的热调试:

        (1)在炉子真空度不低于13.3Pa的情况下通电烘炉,在炉温缓慢升至1300℃的整个过程中,炉子真空度不应低于13.3Pa,经过充分烘烤 ,除气后,压升率达到技术要求时即可。

        (2)工作真空度测量:不低于2.7Pa(在1000空炉时)。

        (3)极限真空度测量:不低于6×1。0-4Pa。

        (4)回充气体调试:当冷却室真空度为1.33Pa时,关闭真空 隔热门、冷却室真空阀,并立即向冷却室炉充入氮气0.06MPa时,时间应在 2.5(秒)完成,并且加热室的真空度不得低于670Pa。

        (5)压升率测量:在真空炉加热至1200℃时,经过充分烘烤除气后,炉温冷却至100℃以下时再测压升率,应达到0.5Pa/h。

        真空管式炉冷炉的调试:

青岛育豪微电子设备有限公司        1、机械、气压、电气联动调试,调整工件传送转移时间≤25S,整个联动在装载200Kg的情况下,连续动作三次应协调平稳,准确可靠。

        (1).真空隔热门开启或关闭行程时间调至≤8 S。

青岛育豪微电子设备有限公司        (2)工件车前进至加热室行程时间调至12—15 S。

        (3)工件车上升或下降行程时间调至≤3 S。

        (4)工件车后退至冷却室行程时间调至12—15 S。

        (5)装载200Kg进行联动试验,总行程时间为≤25 S连续动作应协调平稳,准确可靠。

        2、气冷风扇调试,转速约1400r/min,转动灵活,无异常现象。

        3、报警系统调试,应准确无误,安全可靠。

        4、测量绝缘电阻大于等于20千欧。

        5、测量炉子冷态真空度,压升率接近0。5Pa/h(可结合在热调试中进行)。

青岛育豪微电子设备有限公司        以上就是真空管式炉的注意事项以及热调试和冷调试的所有内容。

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